Chemicals maka usoro Semiconductor

Imepụta Semiconductor bụ usoro metụtara kemịkalụ, yana ihe ruru 20% nke usoro a na-ehicha na nkwadebe elu:

Anyị na-ejikarị na-ezo aka na ihe ndị a na-eji kemịkalụ na-emepụta wafer dị ka usoro kemịkalụ usoro, nke na-abịa n'ụdị kemịkal dị iche iche (mmiri na gas) ma na-achịkwa nke ọma na ịdị ọcha.Isi ọrụ nke kemịkalụ usoro a bụ ndị a:

Jiri mmiri kemịkalụ dị mmiri hichaa elu wafer na mmiri ultrapure;

Doping silicon wafers na ion ike dị elu iji nweta ụdị P-ụdị ma ọ bụ N-ụdị silicon ihe;

Nkwado nke dị iche iche na-eduzi ígwè dị iche iche na dielectric dị mkpa n'etiti ndị na-eduzi ihe;

Mepụta oyi akwa SiO2 dị gịrịgịrị dị ka isi ihe dielectric ọnụ ụzọ nke ngwaọrụ MOS;

Jiri etching ma ọ bụ reagents na-eme ka plasma dịkwuo mma iji wepụrụ ihe ndị ahụ wee mepụta ụkpụrụ achọrọ na fim ahụ;

A na-ekewa reagents mmiri dị elu na ọkwa atọ: UP-S, UP, na EL dịka ịdị ọcha ha siri dị, EL na-ekewakwa n'ime:

Eletrọnịkị ọkwa 1 (EL-Ⅰ)
nwere ihe na-adịghị ọcha ígwè nke 100-1000 PPb, nke kwekọrọ na ọkọlọtọ SEMI C1 C2;

Eletrọnịkị ọkwa 2 (EL-Ⅱ)
Ọdịnaya adịghị ọcha ọla ya bụ 10-100 PPb, nke dabara na ọkọlọtọ SEMI C7;

Eletrọnịkị grade 3 (EL-Ⅲ)
nwere ọdịnaya adịghị ọcha ọla nke 1-10 PPb, nke dabara na ọkọlọtọ SEMI C7;

Eletrọnịkị ọkwa 4 (EL-IV)
nwere ọdịnaya adịghị ọcha ọla nke 0.1-1PPb, nke dabara na ọkọlọtọ SEMI C8;

Ultra-dị ọcha na elu-ọcha reagents bụ mba ụwa maara dị ka usoro kemịkalụ, makwaara dị ka mmiri ọgwụ, na bụ otu n'ime isi isi kemịkalụ ihe na mmepụta usoro nke integrated sekit (IC) na nnọọ nnukwu-ọnụ ọgụgụ integrated sekit (VLSI). .A na-ejikwa ya ihicha na etching nke silicon wafer elu.Ịdị ọcha na ịdị ọcha nke ultra-dị ọcha na ịdị ọcha dị elu nwere mmetụta dị oke mkpa na mkpụrụ, ihe eletriki na ntụkwasị obi nke sekit jikọtara ọnụ.Enwere ọtụtụ ụdị kemịkalụ eletrọnịkị yana chọrọ teknụzụ dị elu.Ọ dabere na mmepe nke teknụzụ microelectronics.Site na mmepe nke teknụzụ microelectronics, ọ na-etolite synchronously ma ọ bụ tupu oge eruo.N'otu oge ahụ, ọ na-egbochi mmepe nke teknụzụ microelectronics.